半導体シリコンウェハープロセス用真空ピンセット
独自のバルブ構造<
*
が半導体ウェハーの確実な吸着及び離脱を保証
鏡面加工されたバルブ内部がパーティクルの発生を最小限に
鏡面仕上げされたチップによるウェハーへの優れた吸着力
真空ピンセット本体は容易に
チューブ
から取り外し可能
*
米国特許6176265B1号
, 日本特許1698352/1885465号
ご使用の用途に合った真空ピンセットを
インタラクティブカタログ
にて探し出せます
真空ピンセット Cシリーズ ESD対策用
導電性ナイロン
に覆われた本体がウェハーへの静電気による影響を最小限に
チップは
導電性PEEK (Polyetheretherketon)
製
静電気対策に効果的な10
6
から10
8
オームの抵抗値
For
5
,
6
,
8
,
12インチ用
真空ピンセット Fシリーズ テフロン(R)製本体
真空ピンセット本体は優れた耐薬品性を持つ
テフロン(R)
製
種類豊富なウェハーチップ
For
2-3
,
4
,
5
,
6
,
8
,
12インチ用
真空ピンセットアクセサリー / パーツ
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微小物ハンドリング用真空ピンセット
作業中は
真空ピンセット本体の小穴
に触れないで下さい
詳しくは
代理店
までお問い合わせ下さい
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