真空ポンプFV-30/60/W-110/240用HEPAフィルターキット

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小型ダイヤフラム式真空ポンプFV-30/60/W-110/240用HEPAフィルターキット:真空ポンプにゴミやちりを吸い込ませないで下さい。静電気対策用ESDウェハーピンセット、12インチウェーハ用ピンセット、SMDピンセット及びクリーンルーム用小型ダイヤフラム型真空ポンプ有り。

HEPAフィルター交換方法

1: 調整用ノブをはずす(FV-W-110/240のみ)
2: シールを剥がす(上蓋のみ)
3: ネジをはずす
4: 蓋を開ける
5: フィルターを交換
6: 蓋を締める
7: ネジを締める
8: 新しいシールを貼る(上蓋のみ)

交換頻度は周囲の状況によって異なります

詳しくは代理店までお問い合わせ下さい

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