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M100-150L |
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ロックレバーのおかげで少ない力でウェハーをしっかりとハンドリング |
PEEK (Polyetheretherketon)製 |
ウェハーエッジ接触: 3.0mm(上), 6.0mm(下) |
全長: 185mm, 重さ: 71g |
E100-150L |
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ロックレバーのおかげで少ない力でウェハーをしっかりとハンドリング |
導電性PEEK (Polyetheretherketon)製 |
ウェハーエッジ接触: 3.0mm(上), 6.0mm(下) |
全長: 185mm, 重さ: 72g |
M100-150 |
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PEEK (Polyetheretherketon)製 |
ウェハーエッジ接触: 5.6mm(上), 8.5mm(下) |
全長: 147mm, 重さ: 31g |
M110-150 |
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PPS (Polyphenylene Sulfide)製 |
ウェハーエッジ接触: 5.6mm(上), 8.5mm(下) |
全長: 147mm, 重さ: 33g |
E100-150 |
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導電性PEEK (Polyetheretherketon)製 |
ウェハーエッジ接触: 5.6mm(上), 8.5mm(下) |
全長: 147mm, 重さ: 32g |