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M100-125 |
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PEEK (Polyetheretherketon)製 |
ウェハーエッジ接触: 4.5mm(上), 9.0mm(下) |
全長: 148mm, 重さ: 31g |
M110-125 |
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PPS (Polyphenylene Sulfide)製 |
ウェハーエッジ接触: 4.5mm(上), 9.0mm(下) |
全長: 148mm, 重さ: 32g |
E100-125 |
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導電性PEEK (Polyetheretherketon)製 |
ウェハーエッジ接触: 4.5mm(上), 9.0mm(下) |
全長: 148mm, 重さ: 32g |