HEPA 필터가 내부에 장착되었으며 반도체제작 환경에 적합한 오일 성분이 없는 진공펌프

FV-30 FV-60
펌프 입구 및 출구에 HEPA 필터가 장착되었으며 반도체제작 환경에 적합한 오일 성분이 없는 진공 펌프:청정실 사용 목적용 오일 미 포함 펌프 입구 및 출구에 HEPA 필터가 장착되었으며 반도체 제작 환경에 적합한 오일 성분이 없는 진공펌프:진공펌프 입구 와 출구에 HEPA 필터 장착
*내재된 HEPA 필터에 의해서 0.3um 이상의 모든 먼저 분자 불순물들을 99.97% 필터링함.
**HEPA 필터를 교환 시 알려 드리겠습니다.

Specifications
품목 FV-30-110 FV-60-110
유체율 2.5 l/min (0.088 cfm) 2.5 l/min (0.088 cfm)
적응 압력 -300 mmHg (-40 kPa) -600 mmHg (-80 kPa)
전압 100-120 VAC 100-120 VAC
소모 전압 5.0 W 10.0 W
규격 (D x W x H) 137 x 88 x 85 mm 137 x 88 x 133 mm
무게 800 g 1250 g
Duty 주기 연속 연속
보장 사용 시간 > 8760 시간 > 8760 시간
웨이퍼 크기 6인치 까지 8 에서 12인치

240VAC versions 가능 (FV-30-240, FV-60-240)
규격은 권고 없이 변동 가능.
펌프로 먼지나 유체 흡입 금지.

문의 사항이 있으시면 언제든지 연락 주세요.


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