HEPAフィルター内蔵オイルフリーダイヤフラム真空ポンプ

FV-30 FV-60
吸気及び排気用HEPAフィルター内蔵オイルフリーダイヤフラム真空ポンプ:ポンプにゴミやちりを吸い込ませないで下さい。静かな運転音,静電気対策のためのナイロン製本体,コンパクト設計でクリーンルームでの使用に最適。 吸気及び排気用HEPAフィルター内蔵オイルフリーダイヤフラム真空ポンプ:ポンプにゴミやちりを吸い込ませないで下さい。静かな運転音,静電気対策のためのナイロン製本体,コンパクト設計でクリーンルームでの使用に最適。
*HEPAフィルターは0.3ミクロンまでのパーティクルの99.97%を捕獲します
**HEPAフィルター交換時期がわかります

Specifications
製品 FV-30-110 FV-60-110
流量 2.5 l/min (0.088 cfm) 2.5 l/min (0.088 cfm)
到達真空圧 -300 mmHg (-40 kPa) -600 mmHg (-80 kPa)
電源 100-120 VAC 100-120 VAC
消費電力 5.0 W 10.0 W
サイズ (D x W x H) 137 x 88 x 85 mm 137 x 88 x 133 mm
重さ 800 g 1250 g
耐久性 連続 連続
寿命 > 8760 時間 > 8760 時間
ウェハーサイズ 6インチまで 8及び12インチ

240VAC仕様もあります (FV-30-240, FV-60-240)
仕様は予告なしに変更になることがあります
ポンプにゴミやちりを吸い込ませないで下さい

詳しくは代理店までお問い合わせ下さい


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